一种火山口型图形化蓝宝石衬底

2015-07-03

本发明公开了一种火山口型图形化蓝宝石衬底及其制备方法。本发明采用普通的商用微米PSS衬底作为压印模板,
而非订制加工的压印模板,图形简单费用便宜,巧妙解决了压印模板制备困难且成本高昂的问题;同时利用纳米压
印技术制备环形掩模,结合蓝宝石刻蚀技术得到高质量的VPSS,有利于VPSS的商业化;采用二次压印的方法以及
IPS技术,避免将压印模板上的图形直接转印到外延片上旋涂的纳米压印胶上,导致模板碎裂;采用热压、紫外共
压印STU,增加了产出效率和可重复性;本发明制备的火山口型图形化蓝宝石衬底比普通微米PSS具有更多侧向外延
的成分和更多的反射面积,因而更有利于LED出光效率的提升。

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